[성장의 기회 열어가는 경기도 강소기업·(3)] '파크시스템스'

'순수 국내 원천기술' 원자 현미경 글로벌 리더
입력 2023-07-31 19:12
지면 아이콘 지면 2023-08-01 14면

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파크시스템스의 원자 현미경 제품군. /파크시스템스 제공

1985년 스탠퍼드 대학교 박사과정을 밟고 있던 박상일 파크시스템스 대표는 켈빈 케이트 교수팀의 핵심 멤버로 IBM 연구원들과 함께 원자현미경을 발명했다.

1985년 스탠퍼드 시절 IBM과 발명


1988년 원자현미경을 상용화했고 미국에서 PSI Scientific Instruments(PSI)를 창업해 실리콘밸리 벤처기업으로 성공시켰고 1997년 PSI를 매각한다.

PSI를 매각한 박 대표는 한국에서 현 파크시스템스의 전신인 PSIA를 설립, 기존 원자현미경의 단점을 개선한 차세대 원자현미경을 개발하게 된다. PSIA가 출시한 차세대 원자현미경 Park XE시리즈는 XY스캐너와 Z스캐너를 분리해 직교성을 높였고 탐침과 시료가 접촉하지 않으면서도 해상도를 더욱 높인 'True Non-Contact mode'를 세계 최초로 실용화한 제품이었다.

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파크시스템스의 원자 현미경 제품군. /파크시스템스 제공

또 산업용 원자현미경 시스템을 개발, 세계 최대 데이터 스토리지 제조업체에 판매하는 데 성공했고 반도체 시장을 위한 자동화 원자현미경 개발 플랫폼도 제공했다.



이후 2003년 미국, 2007년 일본에 자회사를 설립해 해외 시장을 확대했고 2007년 PSIA는 파크시스템스로 사명을 변경하게 된다.

'글로벌강소기업 1,000+ 프로젝트' 강소 단계 선정기업 파크시스템스는 순수 국내 원천 기술로 첨단 나노계측장비인 원자현미경 분야를 선도한다.

계측검사자동화장비 등 제품군 다양
美·日에 자회사… 점유율 세계 1위


파크시스템스의 원자현미경은 국내외 유수대학의 연구소는 물론, 글로벌 반도체 기업으로부터 최적의 설루션으로 평가된다.

1997년 설립해 가장 오래된 원자현미경 기술의 역사적 뿌리를 가지고 있으며 이를 기반으로 수원 광교에 본사를 두고 전 세계에 법인·연락사무소를 통해 연구용 장비뿐 아니라 반도체 계측 검사 자동화 장비까지 다양한 원자현미경 제품군을 선보이고 있다.

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파크시스템스의 원자 현미경 제품군. /파크시스템스 제공

미국, 일본 자회사뿐 아니라 독일, 영국, 싱가포르, 인도, 중국, 대만, 멕시코 등이 주요 해외 시장이다.

반도체 제조업체 90% 이상이 사용

지난해엔 원자현미경 분야 시장점유율 세계 1위라는 금자탑을 달성하기도 했다.

현재 반도체 계측 검사 자동화 장비에선 전 세계 반도체 제조업체 상위 20개 업체의 90% 이상이 파크시스템스의 장비를 사용하고 있다.

파크시스템스 측은 "세계 최고의 나노 계측 장비회사가 되는 것이 목표"라며 "선도적 기술과 설루션을 제공함으로써 고객이 신뢰할 수 있는 기술 분야의 글로벌 리더로 자리매김할 것"이라고 포부를 밝혔다.

/신지영기자 sjy@kyeongin.com

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