국비 등 100억 고도화 시스템 구축

 

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인천시가 지역 반도체 산업의 인공지능 전환(AX·AI Tranformation)을 추진한다. 인천 반도체 산업을 고도화·자율화하는 시범사업에 나서는 것이다. 2027년까지 국비 53억원과 시비 16억원, 민간 부담 32억원 등 약 100억원을 들여 반도체 CMP DISK(화학기계적 연마 디스크) 인공지능 자율제조 시스템을 구축할 계획이다.

인천시는 산업통상자원부가 공모한 '인공지능(AI) 자율제조 선도 프로젝트 사업' 지원 대상에 선정됐다고 28일 밝혔다. 인천시가 수행할 과제는 '반도체 소자용 CMP 부품 AI 자율제조 기반 생산공정 및 시스템 개발'이다.

반도체 공정 가운데 하나인 CMP는 회로가 집적된 반도체 웨이퍼 표면을 용액과 압력을 통해 화학적(Chemical)·기계적(Mechnical)으로 연마(Poliching)하는 과정이다. 이를 위해선 CMP 공정의 필수 요소 중 하나인 '패드'를 최적의 상태로 가공하는 공구가 필요한데, 이를 CMP DISK라고 한다. 이 공구에는 머리카락 굵기의 작은 다이아몬드가 6만개 정도 부착돼 있다.

인천시는 CMP DISK 다이아몬드의 분류·배열·도금·불량검사를 수작업에서 AI 기반 자율공정으로 전환하는 민관 사업을 지원하게 된다. 이를 통해 현재보다 50% 이상 생산성이 향상되고 불량률이 낮아질 것으로 인천시는 기대하고 있다.

이번 과제에는 인천 기업, 연구기관, 인공지능 업체 등이 참여한다. 남동구에 있는 CMP DISK 생산업체 신한다이아몬드공업(주)가 모델 학습에 필요한 데이터를 수집·분석하고 자율제조 공정에 투입할 로봇 장비를 구축한다.

송도국제도시에 있는 한국생산기술연구원 지능화뿌리기술연구소는 알고리즘을 개발하고, 인공지능 기업 몬드리안에이아이는 자율제조 통합 시스템을 설계한다. 미국 위스콘신대학교는 제어 시스템을 개발할 예정이다.

인천시는 지난해부터 지역 산업에 인공지능을 접목하는 AI 내재화 사업을 추진하고 해당 기업·기관의 기술 개발과 실증을 지원하고 있다. 인천시 유제범 미래산업국장은 "인공지능 자율제조 선도 사례를 추가 발굴·지원해 지역 산업의 인공지능 전환(AX)을 적극 추진하겠다"고 말했다.

/김성호기자 ksh96@kyeongin.com