세메스가 세계 최초로 개발한 '초임계 반도체 세정 장비' 제조 기술을 중국에 유출한 세메스 전 연구원 등 5명이 기소됐다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(부장검사·박진성)는 부정경쟁방지법 위반 등 혐의로 세메스 전 연구원 A씨 등 2명과 기술 유출 브로커 B씨, 세메스 협력사 대표 C씨 등 4명을 구속 기소했다고 16일 밝혔다. 같은 혐의로 세메스 협력사 직원 1명은 불구속 기소했다. 


세메스 개발 '초임계 도면' 中 넘겨
검찰 수사로 실제 장비 납품 막아


A씨는 지난 2016년 세메스를 그만두고 3년 뒤 다른 회사를 설립했다. 그는 지난 2021년 6월 세메스가 세계 최초로 개발한 '초임계 반도체 세정장비' 핵심 도면을 C씨로부터 취득해 이를 브로커 B씨를 통해 중국에 유출한 혐의를 받는다. 협력사 대표 C씨는 A씨에게 초임계 도면을 넘겨주는 대가로 A씨로부터 38억원 투자금을 받은 것으로 조사됐다. 브로커 B씨는 16억원을 전달받았다.

초임계 세정 장비는 초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 이산화탄소로 반도체 기판을 세정한다. 이 기술은 기판 손상을 최소화할 수 있고 산업통상자원부가 지정한 국가핵심기술 중 하나다.

A씨는 지난해 9월 중국 민간 반도체 업체에 초임계 세정장비 10대를 납품한 뒤 기술을 이전하기로 협약했으나, 다행히 검찰 수사가 시작되면서 실제 장비 납품은 한대도 이뤄지지 않은 것으로 파악됐다.

/이시은기자 see@kyeongin.com