[중소기업 성장 돕는 경기도 기술개발사업·(8)] 美·日 특허 출원… 샘플테스트중
경기도 기술개발 사업 지원을 받은 에스알티는 반도체 공정용 진공밸브를 전문으로 생산한다.
에스알티는 기술개발 지원으로 한 단계 더 뛰어난 제품을 생산, 경쟁력을 확보했다.
기존 반도체 공정용 밸브는 open-close 실린더가 좌우로 구동되는데 이를 개선해 새로운 구동방식인 U자 형태 구동을 도입, 기술경쟁력을 확보한 것이다.
구동 중 블레이드가 상하로 구동하기 위해선 블레이드 pull-push 실린더가 추가돼야 한다. 그렇게 되면 밸브가 열린 상태에서도 오링이 NF3 가스로부터 보호될 수 있어 내구성이 증가하고 파티클 발생을 억제해 밸브 교체 주기를 늘릴 수 있다.
밸브 교체 주기 연장은 곧 공정 비용 절감으로 이어진다.
에스알티는 해외 경쟁사와 동일한 성능대비 교체주기를 확보함으로써 공정 효율을 높였고, 국내는 물론 미국-일본에도 관련 특허를 출원했다. 기술개발사업을 통해 개발한 제품은 샘플 납입을 완료해 테스트가 진행 중이다. 테스트가 성공적으로 끝나면 추가 발주할 예정이기도 하다.
에스알티 측은 제품을 통해 고용을 확대하고 생산시설을 확충, 추가 제품을 개발한다는 계획이다.
에스알티 측은 "SEMICON KOREA(반도체 산업 컨퍼런스) 2024에 참가할 예정"이라고 밝혔다.
/신지영기자 sjy@kyeongin.com
