용인 원삼면 클러스터 내에 3300㎡
소부장 전주기 양산연계 실증 시설
“국가 미래 산업 선도할 핵심 기반”

경기도가 용인 반도체 클러스터 내에 조성을 추진하는 1조원 규모의 첨단반도체 성능평가시설이 정부의 예비타당성조사를 최종 통과하며 본격 추진될 전망이다.
경기도는 ‘첨단반도체 양산연계형 미니팹(성능평가시설) 기반구축사업’이 과학기술정보통신부 국가연구개발사업평가 총괄위원회에서 최종 예비타당성조사를 통과했다고 28일 밝혔다.
SK하이닉스와 연계된 이 사업은 경기도와 산업통상자원부, 용인시가 함께 용인 원삼면 첨단 반도체 클러스터 내에 연면적 3천300㎡ 규모로 미니팹 시설을 조성하는 내용이다.
소부장 기업 입주공간과 반도체 공정별 실증공간을 마련하고 12인치 웨이퍼(회로판) 기반 반도체 공정·계측장비 약 40대를 구축하는데, 내년부터 2031년까지 7년 동안 1조원이 투입된다.
양산연계형 미니팹은 반도체 소부장 전주기 양산연계 실증 시설이다. 반도체 소부장 개발제품 평가·검증, 공정 전문가 컨설팅, 수요기업 연계 소부장 R&D 지원, 현장형 반도체 인재양성 지원 기능을 수행할 계획이다.
도는 지난 7월 개소한 차세대융합기술연구원 내 ‘경기도 반도체 기술센터’와 연계해 개발 공간과 평가 분석 시설을 제공하며 산업 현장에서 요구하는 성능평가와 양산연계형 테스트를 지속 지원할 구상이다.
이성호 경기도 미래성장산업국장은 “첨단반도체 미니팹은 경기도와 국가의 미래 반도체 산업을 선도할 핵심 기반시설”이라며 “첨단반도체 산업의 글로벌 기술 경쟁력을 한층 끌어올릴 계기로, 공급망 안정성을 확보하고 반도체 산업 생태계 강화에 중요한 역할을 할 것으로 기대된다. 정부·지자체·기업과 긴밀히 협력해 사업이 적기 추진될 수 있도록 최선을 다하겠다”고 강조했다.
/고건기자 gogosing@kyeongin.com