지난달 말 규제후 두번째 수출 승인
불산액은 일부 '국산화' 대체 투입

일본 정부가 SK하이닉스와 삼성전자가 수입하기로 한 기체 불화수소(에칭가스) 등 반도체 핵심 소재 수출을 잇따라 허가하고 있다.

유명희 산업통상자원부 통상교섭본부장은 2일 국회 산업통상자원중소벤처기업위원회 국정감사에서 한국을 대상으로 일본이 반도체·디스플레이 소재 3개 품목에 대해 허가한 수출의 수가 '총 7건'이라고 말했다.

전날 산업부가 밝힌 대로 이미 에칭가스 1건, 플루오린 폴리이미드 1건, 포토레지스트 3건 등 총 5건이 수출허가를 받은 데 이어 지난달 30일 수출 승인된 에칭가스 2건이 추가 확인된 것이다.

반도체 제조 공정에 필요한 핵심 소재인 기체 불화수소는 지난 8월 말 첫 수출 허가가 난 바 있으며 당시 삼성전자가 수입 기업이었다. 이번에 수출 승인된 기체 불화수소 2건은 각각 SK하이닉스, 삼성전자가 수입한다.

SK하이닉스 관계자는 "지난달 말 일본이 반도체 공정에 사용하는 소재인 초고순도 기체 불화수소 수출을 허가했다"며 "아직 한국에 들어오진 않은 상태"라고 밝혔다.

아직 한 건도 수입되지 않은 액체 불화수소(불산액)의 경우 일부 국산화가 진행되고 있는 상태다. SK하이닉스는 "지난 1일 일부 생산라인에 국산 액체 불화수소를 투입해 사용 중"이라고 설명했다.

지난달 초 LG디스플레이, 삼성전자 등이 일본 고순도 불화수소 일부를 국산품으로 대체한 데 이은 또 다른 국산화다.

삼성디스플레이도 최근 국산 액체 불화수소 테스트를 완료했으며, 조만간 생산라인에 투입할 예정인 것으로 알려졌다.

반도체용 액체 불화수소는 수입 신청 후 90일이 되도록 단 한 건도 허가가 나지 않는 상황인 것으로 전해졌다.

유 본부장은 "자료 보완 요구가 많아 수출허가 승인이 원활하게 이뤄지지 않고 있다"며 "얼마든지 일본과 협의할 용의가 있고 일본 측에도 요구했으나 일본이 응하지 않고 있다"고 말했다.

/김준석기자 joonsk@kyeongin.com