삼성전자는 0.10㎛(100만분의 1ｍ) 이하의 초미세 회로선폭을 가진 반도체 제조에 필수적인 아르곤플로라이드(ArF) 감광제를 최근개발, 기가급 용량 이상의 반도체 상용화를 앞당기게 됐다고 13일 밝혔다.

　감광제는 반도체 설계 회로를 사진으로 찍어 빛의 반응에 의해 원재료인 웨이퍼상에 형성시키는 제조 과정에서 필수적인 물질로 이번에 개발된 ArF 감광제는 고해상도 등 장점이 있어 초미세 회로 제작을 가능케 한다고 삼성전자는 말했다.

　일본과 미국 등 선진 업체들이 그동안 차세대 초미세 회로 반도체 제작을 위한새로운 감광제를 공동 개발해 오고 있는 상황에서 삼성전자가 업계 처음으로 0.10㎛이하의 회로선폭 제작이 가능한 감광제를 개발함으로써 기가급 용량 반도체 시장의주도권을 잡을 원천 기술의 하나를 확보한 것으로 평가받고 있다.

　삼성전자는 이번 감광제 개발과 관련한 핵심 기술을 미국과 일본, 대만 등 세계주요 9개국에 특허 출원했으며 향후 10년간 특허 로열티로만 600만 달러 이상의 수익을 올릴 것으로 기대하고 있다.