▲ 삼성반도체 화성공장 불산 유출사고. 28일 오후 화성시 반월동에 위치한 삼성전자 화성반도체 사업장에서 삼성전자 DS부문 커뮤니케이션 팀장 이승백 상무가 불산가스 누출 사고 경위를 설명하고 있다. /하태황기자
맹독성 물질인 불산(불화수소)은 반도체 웨이퍼를 세척하는 과정에 사용되는 필수 물질이다.

불산은 금이나 백금을 제외한 대부분의 금속을 녹일 정도로 부식성이 강해 대체로 물과 섞어서 농도를 50% 이하로 만들어 사용한다.

불산은 용액이 피부에 묻으면 심한 화상을, 기체 상태의 불산을 호흡기를 통해 마시면 상기도에 출혈성 궤양과 폐수종을 일으킬 수 있는 맹독성 물질이다.

불산이 인체에 해로운 물질이지만 반도체 공장에서는 사용하지 않을 수 없어 특별하게 관리되고 있다.

 
 
▲ 삼성반도체 화성공장 불산 유출사고. 28일 오후 화성시 반월동에 위치한 삼성전자 화성반도체 사업장에서 삼성전자 DS부문 커뮤니케이션 팀장 이승백 상무가 불산가스 누출 사고 경위를 설명하고 있다. /하태황기자
불산은 중앙 공급시설에 보관돼 있는데, 반도체 생산 근로자들이 일하는 생산라인으로는 배관을 통해 공급된다.

배관도 2중으로 돼 있어 내부의 배관이 손상되더라도 외부의 배관이 외부로의 유출을 막는다.

배관에 문제가 생겨 배관 교체공사를 할 경우에는 공급시설의 밸브를 잠그고 진행한다.

삼성전자는 이번에 불산 누출 지점은 중앙 공급시설이라고 밝혔다.

이에 따라 외부뿐 아니라 반도체 생산라인으로도 유출됐을 가능성이 없다는 게 삼성전자의 설명이다.

/디지털뉴스부

 
 
▲ 삼성반도체 화성공장 불산 유출사고. 28일 화성시 반월동에 위치한 삼성전자 화성반도체 사업장에서 불산 배관 교체 작업 중 불화수소희석액(불산)이 누출돼 1명이 숨지고 4명이 부상을 입은 가운데 사업장으로 119구조대 차량이 들어가고 있다. /하태황기자

 
 
▲ 삼성반도체 화성공장 불산 유출사고. 28일 화성시 반월동에 위치한 삼성전자 화성반도체 사업장에서 불산 배관 교체 작업 중 불화수소희석액(불산)이 누출돼 1명이 숨지고 4명이 부상을 입은 가운데 사업장으로 119구조대 차량이 들어가고 있다. /하태황기자